報道関係者見学会を開催
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〜住友電気工業株式会社とビームラインの設置契約を締結〜
当研究センターは、シンクロトロン放射光利用による地域産業の発展、新産業の創出、科学技術の振興に資することを目指し、２００６年２月に開所しました。以来、産学官のご利用は年々増え、２０１３年度の利用実績は２００６年度比で約５．５倍になっています。
このたび、住友電気工業株式会社とビームラインの設置契約を締結し、新たに２本の他機関ビームラインを設置することとなりました。また、既設の県有ビームラインについてもBL09の高性能化に加え、７本目の県有ビームラインとなるBL18の供用も準備しているところです。その内容は以下のとおりです。
（１）住友電気工業株式会社により２本の他機関ビームラインが設置されます。高精度・高感度な材料分析を実現し製品開発や故障解析に役立てることを目的として、Ｘ線ビームラインと軟Ｘ線ビームラインを各１本隣接して設置します。２０１６年度からの稼働を目指しており、各種事業展開のための基盤設備として活用されることが期待されます。
（２）県有ビームラインBL09の高性能化を図ります。
県有ビームラインBL09では白色Ｘ線を作物や花卉に照射する突然変異育種、マイクロメートルサイズの微小部品加工、パワー半導体デバイス材料の欠陥観察などに利用してきましたが、今回、照射幅を約３倍（〜400mm）に拡幅します。これにより、利用効率を格段に向上させることが可能になります。
（３）新たに７本目の県有ビームラインとなるBL18の供用準備を行います。
BL18はＥＵＶ（極端紫外線）領域の放射光が利用可能であり、他機関ビームラインの業務満了に伴い県に移管された後、県有ビームラインとして供用準備を進めるものです。今後、ＥＵＶ領域の半導体露光プロセスに使われるレジストやマスク関連材料、露光装置の光学素子などの評価に貢献することを目指します。
お問合せ先
九州シンクロトロン光研究センター
利用企画課
TEL：0942-83-5017
FAX：0942-83-5196