BL12：表面界面ビームライン

偏向電磁石からのシンクロトロン放射光を利用できるビームラインです。40 eV 〜 1500 eVの軟Ｘ線を用いて材料評価などを行うことができます。Ｘ線光電子分光（XPS1））装置と軟Ｘ線吸収分光法によるNEXAFS2）測定装置が設置されています。

1） XPS : X-ray Photoelectron Spectroscopy

2） NEXAFS：Near Edge X-ray Absorption Fine Structure

BL12写真1BL12写真2

エネルギー範囲

40 eV 〜 1500 eV

光子エネルギー分解能 （E/△E）

2500@400 eV

光子数

108 〜 109 photons/sec

ビームサイズ（試料面）

1.5 mm（H） × 0.6 mm（V）

研究分野（キーワード）

XPS（半導体材料の表面・界面の組成・化学結合状態、電子状態分析等）、NEXAFS（軽元素含有材料の局所構造解析等）

実験ステーション

 XPS／NEXAFS測定装置（固体、薄膜、粉末）

 NEXAFS測定装置（固体、薄膜、粉末）