BL10　装置概要

 ARPES測定装置及び付属装置　

• 可変偏光アンジュレータからの光を利用する高分解能角度分解光電子分光測定
• 試料電流測定による軟X線XAFS測定
• 超高真空槽内での試料準備・作成及び低速電子回折装置による評価

ARPES装置上面図(試料マニピュレータは非表示)

測定ジオメトリ

光電子エネルギー分析器　　VG Scienta R4000WAL

• 放出角度ごとの光電子スペクトルの同時測定が可能
• 角度測定範囲：最大±15 °、角度分解能1 °以下
• 検出系：マルチチャンネルプレート2次元検出器
• 電子中心軌道半径：200 mm

試料マニピュレータ 　AVC iGOINIO

• XYZ 3軸並進及び面内（試料法線軸回り±90°）、フリップ（試料法線に直交する水平軸回り0 °〜 70°)、Z軸回りの3軸回転機構
• 試料冷却機構：液体ヘリウム使用で約40 K(利用を希望される方は事前に御相談ください)

試料導入チャンバー

• 真空槽外で作成した測定試料を短時間(30分程度)で測定槽へ導入可能

試料準備チャンバー

• 最大4個までストック可能なサンプルバンク
• 最大1000 ℃までの試料加熱
• 低速電子線回折装置（スポットプロファイル分析型：Omicron SPA-LEED）による試料評価
• Arイオン銃（LK TECHNOLOGIES NGI3000）による試料のスパッタ処理

試料蒸着チャンバー

• 真空蒸着による試料作成や試料の劈開作業等
• 蒸着制御器：INFICON Cygnus
• 蒸着器：AVC AEV-11

ヘリウム光源 　VG Scienta VUV5050/5040

マイクロウェーブ型VUV光源及び分光器の組合せにより、高安定性で高輝度かつ線幅の狭いVUV光｛HeI（21.2 eV）、HeII（40.8 eV）｝を利用可能

本装置では、偏光可変アンジュレータ（APPLE-II型）を用いた励起光エ ネルギー40 eV 〜 900 eV（水平偏光利用時）での角度分解光電子分光測定を高分解能で行うことが可能です。また、試料準備、蒸着、導入の3つの付属する真 空チャンバーを備え、真空槽内での作成・評価を行った試料をそのまま測定槽に持ち込むことが出来ます。なお、測定槽は超高真空に保たれていますので、真空 を悪化させる試料を測定することはできません。

• スポットサイズ：0.5 mm（幅） × 0.1 mm（縦)以下
• 偏光モード：偏光モードの違いにより、利用可能なエネルギー範囲が異なります。水平偏光モード以外の御利用を御検討の際は事前にご相談ください。
• 試料サイズ&ホルダー形状：試料サイズは4 mm角程度（最小） 〜 9 mm × 7.5 mm（最大）まで、厚みは0.5 mm 〜 2 mmに対応可能です。その他特殊な形状の試料に関しては別途ご相談ください。

PEEM測定装置

PEEM上面図

測定ジオメトリ

光電子顕微鏡本体

• 静電レンズ型光電子顕微鏡（PEEMSPECTOR、Elmitec社）
• 視野直径：100, 50, 25, 10, 5 μmΦ（切替式）
• 空間分解能：40 nm以下（UVランプ使用、シリコンパターン基板にて）
• 真空チェンバー：2E-8Pa（ベース圧力）

試料ステージ

• XYZ 3軸、およびθz（試料法線軸周り±90°）、θx、θy（チルト軸±2°）
• 試料表面の中央約3 mmΦ程度の任意の場所を測定可能。
• 試料法線は鉛直面内にあり、入射光（水平）とのなす角は60°固定（斜め入射）
• 試料温度：160K 〜 1300 K（事前相談が必要です）

試料導入チャンバー

UVランプ

撮像カメラ

• ペルチェ冷却式CCDカメラ（SensiCam QE、PCO社）
• ダイナミックレンジ12-bit
• 露出時間 1 ms 〜 10000 s

本装置では、偏光可変アンジュレータ（APPLE-II型）からのシンクロト ロン放射光を用いた光電子顕微鏡観察が行えます。試料は、約30分間の予備排気後、測定槽へ導入可能です。なお、測定槽は超高真空に保たれていますので、 真空 を悪化させる試料を測定することはできません。UVランプを使用し て試料位置調整を行った後、シンクロトロン放射光での測定を行います。試料の冷却は液体窒素を使用し、約１時間で約160 K程度まで冷却可能です。試料の 加熱 は試料背面にホルダー内蔵フィラメントを用います。また、試料電流測定による軟X線XAFS測定が可能です。

試料ホルダー外観 円形マスク（中央の穴は7 mmΦ）を用いて試料を固定する。測定可能な領域は中央部（3 mmΦ程度）である。

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