BL09：照射・結晶構造ビームライン

照射・結晶構造ビームラインBL09では白色光と単色光の両方を供給しています。BL09ではX線リソグラフィーによる微細加工やX線トポグラフィーによる結晶材料内の欠陥構造観察を行うことができます。

写真1　BL09Aの実験ステーション

図1　BL09の実験ステーション
実験室の床面積は6×3 m²

　　　　図2　BL09のスペクトル（実測）

図3　BL09の構成

エネルギー範囲	■白色光 ■単色光（5～20KeV）
ビームサイズ	■白色光：400 mm（H） × 14 mm（V） ■単色光：130 ｍｍ（H）× ８ｍｍ（V）

エネルギー範囲　

■白色光

■単色光（5～20KeV）

ビームサイズ

■白色光：400 mm（H） × 14 mm（V）

■単色光：130 ｍｍ（H）× ８ｍｍ（V）

Siチャンネルカットモノクロメーターを光路に入れることで単色化できます。必要に応じて白色/単色X線を切り替えます。

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