県有ビームライン概要

BL07

バイオ・
イメージング

超伝導

ウィグラー

5keV 〜 35keV

白色(ピーク 8 keV)

Ｘ線イメージング
(位相・吸収・マイクロCT)

高分子材料、生物試料

X線回折
(多軸回折計)

単結晶、薄膜材料

タンパク質Ｘ線回折

機能性タンパク質

高エネルギーXAFS

貴金属触媒、透明電極

蛍光Ｘ線分析

農水産物、考古学試料

照射
(加工、放射線効果)

微細部品(LIGA）、
農作物（育種）

BL09

照射・結晶構造

偏向電磁石

5keV 〜 20keV

白色(ピーク 5 keV)

単色･白色Ｘ線トポグラフィ

半導体ウエハ

照射
(加工，放射線効果)

微細加工(LIGA)、
農作物（育種）

BL10

ナノサイエンス

偏光可変

アンジュレータ

40eV 〜 900eV¹⁾

軟X線XAFS

触媒、電子材料、
電池材料

角度分解X線光電子分光

有機半導体材料

光電子顕微鏡

ナノ構造材料、
磁性材料

BL11

局所構造

偏向電磁石

2.1keV 〜 23keV²⁾

XAFS

触媒、電子材料、
電池材料

X線小角散乱

高分子材料、溶液試料

BL12

表面界面

偏向電磁石

40eV 〜 1500eV

軟Ｘ線XAFS

触媒、電子材料

Ｘ線光電子分光

電池材料

BL15

物質科学

偏向電磁石

3.5keV 〜 23keV

X線回折(粉末、薄膜）

セラミックス材料、
電子材料

X線反射率測定

機能性薄膜材料

単色X線トポグラフィ

半導体ウエハ

XAFS

触媒、電子材料、
電池材料

BL18

EUV光照射

偏光電磁石

92eV

EUV光反射、反射率計測

レジスト
（加工性評価）

光学素子
（反射率計測）