BL09:照射・結晶構造ビームライン

照射・結晶構造ビームラインBL09では白色光と単色光の両方を供給しています。BL09ではX線リソグラフィーによる微細加工やX線トポグラフィーによる結晶材料内の欠陥構造観察を行うことができます。

写真1 BL09Aの実験ステーション

図1 BL09の実験ステーション
実験室の床面積は6×3 m2

 



    図2 BL09のスペクトル(実測)

 

 


図3 BL09の構成

 

エネルギー範囲 

■白色光

■単色光(5~20KeV)

ビームサイズ

■白色光:400 mm(H) × 14 mm(V)

■単色光:130 mm(H)× 8 mm(V)

 

研究分野 (キーワード)

  • 微細加工(LIGA、TIEGAプロセス)
  • 植物体の突然変異育種
  • 結晶欠陥・転位・歪み構造のイメージング
     

実験ステーション

 X線リソグラフィー

 放射線効果

 X線トポグラフィー