住友電気工業株式会社では、各種製品の開発、品質や信頼性の向上を目的として、材料の原子レベルでの分析や製造プロセスのその場評価などを行なうため、2本のビームラインを設置し、2016年11月から実際の製品開発やモノづくりの課題解決に活用しています。
放射光ビームラインの構成図
「出典:住友電気工業株式会社(https://sei.co.jp/company/press/2016/12/prs108.html)」
光源: 4T超伝導ウィグラ
分光器: 二結晶分光器 Si111/Si311/InSb111
エネルギー範囲: 2keV~35keV
光子数: 2.7 × 10E10 photons/s @ 7keV、> 10E10 photons/s @ 3.2 keV~11 keV
ビームサイズ: 1.0 mm(H) × 0.2 mm(V) @ 回折、1.7 mm(H) × 0.5 mm(V) @ XAFS
主な測定手法: XRD、SAXS、XAFS(透過/蛍光/転換電子/試料電流)
光源: 偏光電磁石
分光器: 可変偏角型回折格子分光器 400/1000/1400/2200 Lines/mm
エネルギー範囲: 50eV~2000eV
光子数: 3.9 × 10E9 photons/s @ 160 eV、> 10E9 photons/s @ 50 eV~1400 eV
ビームサイズ: 0.95 mm(H) × 0.05 mm(V)
主な測定手法: XPS、XAFS(蛍光/試料電流)