BL12:表面界面ビームライン

偏向電磁石からのシンクロトロン放射光を利用できるビームラインです。40 eV 〜 1500 eVの軟X線を用いて材料評価などを行うことができます。X線光電子分光(XPS1)装置と軟X線吸収分光法によるNEXAFS2)測定装置が設置されています。

1) XPS : X-ray Photoelectron Spectroscopy
 

2) NEXAFS:Near Edge X-ray Absorption Fine Structure

 

BL12写真1  BL12写真2

 

エネルギー範囲

40 eV 〜 1500 eV

光子エネルギー分解能 (E/△E)

2500@400 eV

光子数

108 〜 109 photons/sec

ビームサイズ(試料面)

1.5 mm(H) × 0.6 mm(V)


研究分野(キーワード)

XPS(半導体材料の表面・界面の組成・化学結合状態、電子状態分析等)、NEXAFS(軽元素含有材料の局所構造解析等)


実験ステーション

XPS/NEXAFS測定装置(固体、薄膜、粉末)

NEXAFS測定装置(固体、薄膜)


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